Construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca

Juan A.  Sanchez Daza; Martha Lucía  Molina Prado; Néstor. A.  Arias Hernández

doi:10.24054/rcta.v2i36.12

Autores/as

Juan A. Sanchez Daza Universidad de Pamplona
Martha Lucía Molina Prado Universidad de Pamplona
Néstor. A. Arias Hernández Universidad de Pamplona

DOI:

https://doi.org/10.24054/rcta.v2i36.12

Palabras clave:

Interferometría de luz blanca, Mirau, Sistema interferómetro Vertical

Resumen

En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca, que permite el levantamiento topográfico de objetos con resolución nanométrica. Por medio de un escaneo axial del objeto, se adquiere un conjunto de imágenes con franjas interferométricas deformadas las cuales dan información de la rugosidad del objeto. El principio del sistema está basado en la localización del pico de coherencia en cada posición Im(i,j) del conjunto de m imágenes adquiridas, en donde la posición z(m) del pico de coherencia cambia de acuerdo a la topografía del objeto. Se presenta una serie de reconstrucciones tridimensionales de varios objetos a resolución nanométrica, obtenidas de manera automática con la ayuda de una interface gráfica elaborada en Matlab, que permite el control de los dispositivos, procesado digital de las imágenes y el cálculo de la topografía del objeto.

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Citas

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