CONSTRUCCIÓN DE UN MICROSCOPIO PERFILOMETRICO POR INTERFEROMETRÍA DE LUZ BLANCA

Autores/as

  • Juan A. Sanchez Daza Universidad de Pamplona
  • Martha Lucía Molina Prado Universidad de Pamplona
  • Néstor. A. Arias Hernández Universidad de Pamplona

DOI:

https://doi.org/10.24054/16927257.v36.n36.2020.12

Palabras clave:

Interferometría de luz blanca, Mirau, Sistema interferómetro Vertical

Resumen

En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca, que permite el levantamiento topográfico de objetos con resolución nanométrica. Por medio de un escaneo axial del objeto, se adquiere un conjunto de imágenes con franjas interferométricas deformadas las cuales dan información de la rugosidad del objeto. El principio del sistema está basado en la localización del pico de coherencia en cada posición Im(i,j) del conjunto de m imágenes adquiridas, en donde la posición z(m) del pico de coherencia cambia de acuerdo a la topografía del objeto. Se presenta una serie de reconstrucciones tridimensionales de varios objetos a resolución nanométrica, obtenidas de manera automática con la ayuda de una interface gráfica elaborada en Matlab, que permite el control de los dispositivos, procesado digital de las imágenes y el cálculo de la topografía del objeto.

Citas

Davidson, M., Kaufman, K., Mazor, I., & Cohen, F. (1987). An application of interference microscopy to integrated circuit inspection and metrology. “Paper presented at the Integrated Circuit Metrology, Inspection, & Process Control”

P. Sandoz, R. Escalona, V. Bonnans, and S. Dembele (1999), “From interferometry to image processing: Phase measurement vision method for high accuracy position sensing of rigid targets, Proceedings of Interferometry in Speckle Light: Theory and Applications”. 421-428.

P. J. Caber (1993), “Interferometric profiler for rough surfaces”. Appl. Opt., 19(32):3438-344.

L. Deck and P. de Groot (1994), “High-speed noncontact profiler based on scanning white-light interferometry”. Appl. Opt., 31(33):7334-7338.

P. de Groot and L. Deck (1995), “Surface profiling by analysis of white-light interferograms in the spatial frequency domain”. J. of Mod. Opt., 2(42):389-401.

M. Takeda (1982), “Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry”. J. Opt. Soc. Am., (72):156-160.

K. G. Larkin (1996), “Efficient nonlinear algorithm for envelope detection in white light interferometry”. J. Opt. Soc. Am., 13:832-843,

P. Sandoz (1996), “An algorithm for profilometry by white light phase shifting interferometry”. J. Mod.Opt. (43):1545-1554.

Kjell J. Gasvik (2002) “Optical metrology”, Third Edition. Spectral vision AS, Trondhein, Norway.

N. Arias, M. A. Suarez, J. Meneses, Tijani Gharbi, (2009), “Medida de la Orientación, Posición y desplazamiento en el Plano de un objeto por codificación de Fase”, Revista BISTUA, 2(7):70-76.

Lee, B. S., & Strand, T. C. (1990). P”rofilometry with a coherence scanning microscope”. Applied Optics, 29(26), 3784-3788.

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Publicado

2020-10-02

Cómo citar

Sanchez Daza, J. A. ., Molina Prado, M. L. ., & Arias Hernández, N. A. . (2020). CONSTRUCCIÓN DE UN MICROSCOPIO PERFILOMETRICO POR INTERFEROMETRÍA DE LUZ BLANCA. REVISTA COLOMBIANA DE TECNOLOGIAS DE AVANZADA (RCTA), 2(36), 1–8. https://doi.org/10.24054/16927257.v36.n36.2020.12

Número

Sección

Artículos